典型用户

高功率脉冲磁控溅射系统

其它通用分析品牌：大连维钛克科技股份有限公司型号：HIPIMS610/610

仪器名称：

高功率脉冲磁控溅射系统

英文名称：

所属分类：

其他仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

机械工程

主要技术指标：

极限压强：优于5×10-4Pa；抽速：大气到5×10-3Pa抽气时间小于25分钟升压率：≦0.4Pa/hr 可以实现高功率磁控溅射功能工艺过程自动控制和手动控制结合

主要功能：

用于各种新型多功能涂层的研发及小批量试制。

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