高分辨率肖特基场发射扫描电子显微镜
扫描探针显微镜SPM(原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM)
品牌:TE
型号:MIRA3 LMH
仪器名称:
高分辨率肖特基场发射扫描电子显微镜
英文名称:
所属分类:
分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 扫描探针显微镜
学科领域:
材料科学
主要技术指标:
1、 电子光学工作模式有:分辨率、景深、视野、大视野、摇摆电子束
2、 高真空下的分辨率(二次电子):30kV下1.2nm,3kV下2.5nm
3、 放大倍数:2x—1,000,000x
4、 加速电压:200V至30kV
5、 探针电流:2pA至200nA
主要功能:
用于固体物质高分辨的形貌,形态图像、形貌分析(表面几何形态、形状、尺寸)等;
2、显示化学成分的空间变化,基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布,微区化学成分分析;
3、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式),晶体取向分布分析,基于晶体结构的相鉴定。