典型用户

光刻机

光刻机 品牌:OAI 型号:204

仪器名称:
光刻机

英文名称:

所属分类:
其他仪器 > 其他 > 其他

学科领域:
化学

主要技术指标:
Z 量程:±1,500微米,X-Y横向误差:0.1微米 4直径的均匀光束 光发散:2.3度(半角) 光谱范围:320-450 nm 均匀性:365 nm下,在4英寸面积范围内,光强度均匀性误差在±3%之内。

主要功能:
用于对光敏聚合物进行紫外曝光

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中国检验检疫科学研究院拥有物理综合性能测量系统、气质联用仪、超高灵敏度二噁英分析仪、显微共焦光谱仪、超临界色谱仪、层析系统、三重四级杆串联质谱仪、液相色谱串联质谱仪、放射DR、气相/离子阱质谱联用仪等科研仪器。

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