典型用户

磁控溅射系统

CO2分析仪、CO分析仪品牌：美国AJA公司型号：ATC1800-F

仪器名称：

磁控溅射系统

英文名称：

Magnetron sputtering system

所属分类：

工艺试验仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

物理学

主要技术指标：

直流电源射频电源功率：500 W 功率：300 W 本底真空：10-8 Torr 衬底台最大转速：20 r/min 最高加热温度：850 ℃ 均匀性：2 %

主要功能：

用于导电薄膜（前者）以及半导体和绝缘体薄膜（后者）的制备，比如磁性与非磁性金属膜、陶瓷膜、单层膜，共溅射多层膜等，还可以对薄膜进行原位加热和退火处理。

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