非球面测试系统(白光干涉仪)
白光干涉测厚仪
品牌:GO
型号:NEWVIEW 7300
仪器名称:
非球面测试系统(白光干涉仪)
英文名称:
Zygo Newview7300
所属分类:
分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 光学显微镜
学科领域:
预防医学与公共卫生学
主要技术指标:
1.纵向扫描≤150um,可扩展到20mm。扫描速度≤15um/sec,水平视场最大7*5mm。2.纵向分辨率0.1nm,横向分辨率0.36um~9.5um,与所选物镜有关,垂直扫描速度≤135um/sec,与所选的CCD和扫描模式有关。3.RMS重复精度0.01nm,台阶高度重复精度≤0.1%。
主要功能:
用于快速非接触的微观三维坚持和微观表面型貌定量分析,以其极高的精密度和准确度定型和定量地反映出样品的表面粗糙度、台阶高度、关键部位的尺寸以及样品的形貌。测量过程精密、高速、非接触,且样品无需特殊处理。应用领域包括半导体、高校科研领域,可以测量动态MEMS设备、薄膜分析应用、次纳米表面形貌及精密机械加工等。