典型用户

场发射扫描电子显微镜

扫描电镜（SEM）品牌：蔡司型号：GeminiSEM 500

仪器名称：

场发射扫描电子显微镜

英文名称：

Field Emission Scanning Electron Microscope

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜

学科领域：

材料科学化学生物学环境科学技术及资源科学技术

主要技术指标：

1.二次电子分辨率≤ 0.5nm (15 kV)，≤ 0.9nm(1kV)；2.放大倍率范围50-2000000；3.加速电压范围0.02kV-30kV，10V连续可调；4.肖特基场发射电子枪：最大束流≥20 nA，束流稳定性优于0.2% /h；5.磁性样品高分辨成像最小工作距离≤ 2 mm；6.配备镜筒内二次电子探测器，镜筒内能量选择背散射探测器，可伸缩式环形分区背散射探测器，样品室内E-T二次电子探测器。牛津Aztec UltimMax 100 EDS：1.能量分辨率Mn Kα优于127eV；2.元素分析范围：Be 4-Cf 98；3.电制冷SDD硅漂移探测器面积100 mm2；4.具备实时元素面分布功能。牛津C-Swift EBSD：1.高速高分辨CMOS照相机，相机分辨率622×512；2.最大解析速度1000Hz，最小工作电流100pA，最小工作电压5kV；3.电子图像最高分辨率8192×8192，取向面分布图最高分辨率4096×4096；具备动态自动背景扣除技术，探测器参数自动优化。

主要功能：

用于材料的表面微观形貌观察和表征、微区成分分析、微区结构分析；可拍摄样品的二次电子形貌、背散射电子形貌、元素面分布图、电子背散射衍射花样

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