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毛细管放电三束等离子体极紫外光刻光源研究装置

等离子体/化学刻蚀设备 品牌:理研 型号:

仪器名称:
毛细管放电三束等离子体极紫外光刻光源研究装置

英文名称:

所属分类:
物理性能测试仪器 > 光电测量仪器 > 其他

学科领域:
物理学

主要技术指标:
毛细管放电三束等离子体单束放电电流峰值大约20kA,电流上升沿大约150ns,所加电压大约30kV。

主要功能:
用于极紫外光刻光源研究

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