典型用户

氮化物溅射系统

甲烷/非甲烷烃检测仪品牌：紫金山天文台、美国型号：真空度小于8*10^-9T orr、可装载6英寸芯片

仪器名称：

氮化物溅射系统

英文名称：

所属分类：

天文仪器 > 地面天文望远镜 > 毫米波望远镜

学科领域：

天文学

主要技术指标：

真空度小于8*10^-9Torr、可装载6英寸芯片

主要功能：

用于氮化物超导薄膜材料的制备与特性表征

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典型用户

中国科学院紫金山天文台

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中国科学院紫金山天文台拥有太赫兹测量平台、任意波形发生器、高真空超导薄膜沉积设备、实时数字频谱仪原理样机、电子探针、太赫兹超导阵列成像系统、0.3K冷冻机组、拉曼光谱仪、自动键合机、三坐标测量仪等科研仪器。

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