离子注入机
透射电子显微镜(透射电镜、TEM)
品牌:北京师范大学
型号:3-JYZ8010
仪器名称:
离子注入机
英文名称:
Ion implanter
所属分类:
分析仪器 > 电子光学仪器 > 透射电镜
学科领域:
材料科学 核科学技术
主要技术指标:
直径800mm卧式真空室,竖直,水平和45度三个MEVVA离子源,加速电压20-80KV离子种类,各种可导电的固态元素的离子,平均离子流强度5-10mA
主要功能:
用于离子注入材料表面改性,以提高材料表面的硬度、光洁度,抗氧化、抗疲劳、抗磨擦磨损等能力,获得优良的表面性能。