ZYGO干涉仪
激光干涉仪
品牌:美国翟科莱姆达计量设备有限公司
型号:Verifire XP/D 4″
仪器名称:
ZYGO干涉仪
英文名称:
ZYGO
所属分类:
计量仪器 > 长度计量仪器 > 双频激光干涉仪
学科领域:
地球科学 机械工程 电子与通信技术 航空、航天科学技术
主要技术指标:
峰-谷值(PV)重复性:λ/300(2σ);
均方根值(RMS)重复性:λ/10,000(2σ)
分辨率:优于λ/8000;
CCD分辨率:640×480;
帧速:75Hz;
数据模式:8位;
激光光源:He-Ne激光,波长:632.8nm;光束直径:4″(102mm)
输出功率:≤1mw;
相干长度:>100m;
光学系统变距范围6:1;孔径聚焦范围:-800mm~1200mm;
光瞳调焦范围:±5.5m;
校准系统:快速条纹采样系统(QFAS),双光点定位于十字线
主要功能:
用于精密测量角锥的面形,偏转角,二面角误差,45°、90°角以及各种不同反射镜面或光学面的形貌,特性及内部均匀性