典型用户

紫外光刻机及控制软件

光刻机品牌：中国科学院过程所型号：URE-2000

仪器名称：

紫外光刻机及控制软件

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 化工、制药工艺实验设备 > 其他

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

1.曝光类型：单面；2.曝光面积：≥φ115mm；3.曝光不均匀性：≤±2.9%；4.曝光强度：≥20mw/cm2，365nm波长纯净，照明面温度<>

主要功能：

用于维纳电极的线条的制作

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