典型用户

C613 磁控溅射镀膜机

镀膜机 品牌:TE 型号:NANO-MASTER NSC-3500

仪器名称:
C613 磁控溅射镀膜机

英文名称:

所属分类:
工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 机加工工艺实验设备

学科领域:
材料科学

主要技术指标:
6样品台,最大可支持 6晶圆片的自动上下载片,兼容 4”以及其它 6”以内的基片;偏压样品台,提供 3RPM 慢速和 10RPM 快速旋转的快速切换功能,可加热到 300 度;3 个偏轴设计的 2平面溅射靶,全自动遮板;1 个 1KW 直流电源(支持一种金属的溅射或多种金属材料的序列溅射多层膜),1 个 300W 射频电源,带自动调谐器(支持一种介质的溅射或多种介质的序列溅射多层膜);涡轮分子泵直接跟腔体相连的特殊设计,确保 15 分钟内达到 10-6Torr 级别的工艺条 件,8 小时内达到 10-7Torr 级别的工艺真空;

主要功能:
用于金属材料(金、银、铜、镍、铬等)的 DC 溅射、以及序列溅射多层膜,绝缘材 料(如陶瓷等)的 RF 溅射、以及序列溅射多层膜,O2 等离子的反应溅射

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典型用户

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广东省 高校

中国科学院深圳先进技术研究院拥有磁控溅射电子束蒸发系统、显微拉曼光谱仪、F7F 彩色超声波及心动图系统、塑料激光焊接机、超精密自动平面研磨机、E421 原子力显微镜、多通道神经信号刺激记录系统、脑电分析仪、质谱成像系统、高速多通道信号采集与处理平台等科研仪器。

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