典型用户

化学气相沉积装置（直线型）

化学气相沉积（CVD）品牌：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司型号：非标

仪器名称：

化学气相沉积装置（直线型）

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 化工、制药工艺实验设备 > 化学反应工艺实验设备

学科领域：

其他

主要技术指标：

极限真空7Pa；热温度300-1500℃；升温速率：升温速率40~50℃/min 内腔、密封及旋转等关键部位材质具有耐酸蚀性

主要功能：

用于难熔金属涂层及器件的制备

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