典型用户

水平式离子注入机ipv-2000

离子注入机品牌：上海凱世通半导体股份有限公司型号：ipv-2000

仪器名称：

水平式离子注入机ipv-2000

英文名称：

所属分类：

其他仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

其他

主要技术指标：

产能1500片/小时，温度范围10℃-1000℃，碎片率 1% 。

主要功能：

由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入

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光伏材料与技术国家重点实验室

北京市科研单位

光伏材料与技术国家重点实验室拥有PL测试仪、紫外光试验箱、光谱椭偏仪、印刷机头、CENTROTHERM试验炉、Asm氧化铝镀膜设备、pasan太阳能模拟仪、少子寿命测试仪、水平式离子注入机ipv-2000、高低温老化试验箱等科研仪器。

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日本电子

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