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电子探针

电子探针X射线微区分析仪(EPMA) 品牌：日本电子型号：JXA-8230

仪器名称：

电子探针

英文名称：

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 电子探针

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

一. 技术规格 1. 电子光学系统二次电子像分辨率：6nm 背散射电子像分辨率：20nm（拓扑像、成分像）, 成分分辨足以清晰分辨？ / ？黄铜电子枪：钨丝发射枪，预对中灯丝加速电压： 0 ～ 30kV 束流范围：10-5 ～ 10-12A 束流稳定度：≤±0.05%/h；±0.3%/12h 物镜光栏：四级可变光栏物镜：超级小物镜束流探测器：气动式法拉第杯图像放大倍数：×40～×300,000，连续可调；电子像的歧变：＜3% (＞400倍放大率), ＜5% (＜400倍放大率) 电子束位移：小于1μm/h（加速电压15keV，波谱仪在最大范围内移动时）自动功能：自动聚焦；自动消像散；自动衬度/自动亮度调节功能；而且具有大焦深模式超大焦深模式 2. 波谱系统分析元素：5B - 92U 分析精度：好于1%(主元素, 含量＞5%)和5%(次要元素, 含量～1%) 记数率的重复性(给定波长位置)：好于0.5% 峰位置重复性(同一分光晶体)：好于0.5% 峰位置重复性(交换分光晶体后)：好于1.5% 谱仪道数：3道

主要功能：

电子探针主要用来观察玻璃缺陷的微观形貌，分析缺陷的成因，它通过接收不同X射线强度计算出微区内元素组成含量，分析的元素可以覆盖玻璃组成的所有元素。