典型用户

电子束曝光系统

电子束刻蚀系统 品牌:JEOL 型号:JBX-6300FS

仪器名称:
电子束曝光系统

英文名称:
Electron beam exposure system

所属分类:
核仪器 > 离子束分析仪器 > 其他

学科领域:
信息科学与系统科学 工程与技术科学基础学科 信息与系统科学相关工程与技术

主要技术指标:
热场发射阴极电子发射源-100KV加速电压/最小电子束束斑为2-3纳米/极限分辨能力为6-8纳米

主要功能:
电子束直写光刻,可在硅片、砷化镓片等平整衬底上直接制作微纳米胶图形;广泛应用于微纳加工领域。

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