MOCVD(红光）

仪器名称：

MOCVD(红光）

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

物理学 工程与技术科学基础学科 材料科学

主要技术指标：

38*2"，温度范围20-700℃，适于生长氧化物半导体材料

主要功能：

研制芯片