典型用户

ECR刻蚀机

其它通用分析品牌：南京型号：ECRRIE-150

仪器名称：

ECR刻蚀机

英文名称：

所属分类：

其他仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

物理学

主要技术指标：

微波功率：0～1kW，压力：0.01～0.2kPa。

主要功能：

硅片、玻璃等材料的刻蚀；功能薄膜材料的沉积；等离子体改性。

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