科研兼中式多功能磁控溅射镀膜系统
自动进样器(多功能)
品牌:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
型号:2-14390
仪器名称:
科研兼中式多功能磁控溅射镀膜系统
英文名称:
所属分类:
工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 电子产品通用工艺实验设备
学科领域:
物理学 化学 材料科学 电子与通信技术
主要技术指标:
1、极限真空:溅射室(经烘烤)真空度极限≤6.7×10-5Pa。
2、系统漏率:停泵关机 12小时后,溅射室真空度可达≤5Pa。
3/膜厚均性性Φ100mm基片上±5%。
4/系统采用PLC+工控机控制系统,所有工作过程包括抽气过程、放气过程、真空压力控制系统、质量流量器控制气体流量、磁控靶挡板打开关闭、样品挡板打开关闭、射频电源和直流电源的开关和功率参数调整、镀膜时间控制等均采用全自动控制系统。
主要功能:
磁控溅射镀膜