典型用户

离子束刻蚀机

甲烷/非甲烷烃检测仪品牌：美国AVP 型号：RF350

仪器名称：

离子束刻蚀机

英文名称：

Ion Beam Etching

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

etch beam voltage：400V to 2000V etch beam current：125MA to 650mA

主要功能：

离子束刻蚀

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甘肃省科学院传感技术研究所拥有离子束刻蚀机、高真空磁控溅射镀膜机、激光直写机、光谱椭偏仪、真空磁热退火炉、微波等离子去胶机等科研仪器。

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