典型用户

复合离子注入机

离子注入机品牌：表面型号：LZD－800

仪器名称：

复合离子注入机

英文名称：

Ion Implantation Machine

所属分类：

工艺试验仪器 > 汽车工艺实验设备 > 红外线汽车排气分析仪

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

1．真空度：靶室内真空度可达5×10-4Pa，能在40分钟内从大气压抽真空到1×10-3 Pa，无油污染。 2．清洗离子源1个：具有Ar离子试样清洗功能，加速电压300－1500V，束斑直径大于100mm。在100mm束斑直径范围内电流可达50mA。 3．高能金属离子源2个：加速电压10-100kV，束斑直径100mm，在100mm束斑直径范围内离子流可达5mA。具有阴极自动推进功能；具有注入剂量检测和控制；可精确控制注入时间（秒量级）。 4．高能气体离子源1个：加速电压20-100KV，束斑直径100mm，在100mm束斑直径范围内离子流可达5mA。后续在备注里

主要功能：

离子注入技术是近年来在国际上蓬勃发展和广泛应用的一种材料表面改性新技术。其基本原理是利用高能离子束入射到材料中去，离子束与材料中的原子或分子将发生一系列物理的和化学的相互作用，入射离子逐渐损失能量，最后停留在材料中，并引起材料表面成分、结构和性能发生变化，从而优化材料表面性能，或获得某些新的优异性能。离子注入在半导体材料掺杂、金属、陶瓷、高分子聚合物等的表面改性已获得了极为广泛的应用，取得了巨大的经济效益。附件：1.真空室、2.真空系统、3. 离子源、4.真空测量、5.样品台、6. 电源及控制系统、7. 冷却系统。

典型用户

武汉科技大学

湖北省高校

武汉科技大学拥有辊试验轧机、数字煤岩分析仪、高速混料机、钢铁夹杂物自动分析仪、24通道NVH测试分析系统、热综合分析仪、激光三维扫描仪、金属-陶瓷快速试制系统、核磁共振波谱仪、激光导热仪等科研仪器。

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