典型用户

离子刻蚀机Ms350

废气/废水处理机品牌：RA 型号：MS350

仪器名称：

离子刻蚀机Ms350

英文名称：

Roth&Rau Microsys 350

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

N2 O2ArCF4SF6He 6种气体，气体流量功率0～300w真空度刻蚀时间RF powderECR

主要功能：

纳米压印AMONIL刻蚀，Si材料刻蚀

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CIF

113台仪器 6家供应商

典型用户

上海市纳米科技与产业发展促进中心

上海市科研单位

上海市纳米科技与产业发展促进中心拥有离子刻蚀机Ms350、原子力显微镜、S-4800 冷场电子扫描显微镜等科研仪器。

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