典型用户

磁控溅射镀膜机

镀膜机品牌：纳德型号：ATC-2200-UHV

仪器名称：

磁控溅射镀膜机

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

背底真空10^-6Pa，晶圆尺寸4”，靶枪×8

主要功能：

纳米薄膜镀层制备

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