场发射扫描电镜
透射电子显微镜(透射电镜、TEM)
型号:SU8220
仪器名称:
场发射扫描电镜
英文名称:
SEM
所属分类:
分析仪器 > 电子光学仪器 > 透射电镜
学科领域:
化学 材料科学
主要技术指标:
分辨率:1.0nm (15 kV); 1.4nm(1 kV, WD 1.5mm, 减速模式);2.0nm (1 kV, WD 1.5mm, 普通模式)放大倍数:30倍-800,000倍 ; 电子枪:冷阴极场发射电子源 ; 加速电压:0.5-30kV (0.1KV/步,可变,普通模式) 样品台: X: 0-50mm Y: 0-50mm, Z:1.5-30mm, T: -5-70°,R:360°, 样品尺寸最大直径:100mm(标准) 信号选择:二次电子模式和背散射模式,X射线信号,辅助信号
主要功能:
(1)形貌分析,通过形貌像可以对样品的形貌、粒径、分散性进行表征,可用于金属材料、薄膜材料、半导体材料、陶瓷材料、生物组织形貌像的观 察,同时还可对材料断口和失效进行分析(2)微区成分分析,通过对样品微区、亚微区成分进行分析定性、定量分析,可确定样品的组成。