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中国科学院广州能源研究所拥有快速升温热重系统、裂解器-气相色谱质谱联用、双腔室高真空蒸发镀膜仪、薄膜太阳能电池制备系统、全自动比表面与孔径分析仪（物理化学）、原子层沉积仪器系统、离子减薄仪、稳态瞬态荧光光谱测试仪、X射线光电子能谱仪(XPS)、红外热像仪等科研仪器。
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