XPS光电子谱仪
X光电子能谱仪(XPS/ESCA)
品牌：飞世尔科技
型号：ESCALAB250XI
仪器名称：
XPS光电子谱仪
英文名称：
X-ray Photoelectron Spectroscopy
所属分类：
分析仪器 > X射线仪器 > X射线荧光光谱仪
学科领域：
化学
主要技术指标：
1. X射线源
靶：单色化Al靶、双阳极Al/Mg靶
能量分辨率：0.45eV/（Ag 3d5/2）
0.82eV/（C 1s）
最小分析区域（收谱）20μm
灵敏度：1*106 cps
成像空间分辨率：小于3μm
主要功能：
结合离子刻蚀技术还可以获得元素及化学态深度分布信息；通过成像技术可以获得元素及化学态的面分布信息；利用微聚焦X射线源或电子束可以获得微区表面信息。
