热场发射扫描电子显微镜
电镜制样设备
品牌:RD
型号:SIGMA & X-Max 50 & Nordlys Nano
仪器名称:
热场发射扫描电子显微镜
英文名称:
所属分类:
其他仪器 > 其他 > 其他
学科领域:
力学 地球科学 测绘科学技术 材料科学
主要技术指标:
分辨率:1.3 nm @ 20 kV,1.5 nm @ 15 kV, 2.8 nm @ 1 kV;加速电压范围:100 V-30 kV;放大倍数范围:12x - 1,000,000x;探针电流:4pA-20nA;样品室尺寸:内部直径365mm,高度275mm;探测器:In-lens探测器,二次电子探
主要功能:
高分辨样品微区形貌分析,能谱(EDS)实现微区成分分析,背散射电子衍射(EBSD)实现结构及结晶学信息分析。