典型用户

高真空热蒸发镀膜仪

样品前处理工作站品牌：SI 型号：Nexdep

仪器名称：

高真空热蒸发镀膜仪

英文名称：

所属分类：

分析仪器 > 样品前处理及制备仪器 > 旋转薄膜蒸发仪

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

1、主机及控制柜 1.1腔室尺寸不小于400mm（长）×400mm（宽）×500mm（高），内衬不锈钢； 1.2腔室为前开门，为铰链式开门，o型圈密封； 1.3腔室门集成有可观察样品的观察窗，配有照明灯，并有防沉积装置； 1.4安装有可拆卸的防污染不锈钢隔离墙 *1.5系统控制为全pc自动控制模式，集成有基于windows的控制软件；可实现自动和手动双模式控制；aeres镀膜控制软件，控制界面可分级管理；pc控制界面带有图形显示结构，可清晰观察到系统工作状态以及互锁状态。带有多重互锁机构及预警装置；实验数据可导出； 1.6系统带有安全接地装置，带有除余电的保护枪； 1.7系统安全设计符合csa spe-1000认证 2、真空系统 2.1主泵为pfeiffer 685l/s分子泵，极限真空度优于5x10-7torr； 2.2前级泵为安捷伦ds302油泵； 2.3 inficon全量程真空计（测量范围大气环境至3.8×10-9torr）； 2.4系统洁净、空置时可达到5 x 10-7 torr；高纯氮气气氛下20分钟内达到≤ 5 x 10-6 torr； 3、蒸发源的设计和安装 3.1配

主要功能：

蒸镀溅射金属（银、铝等）、无机物（MoO3、LiF等），用作太阳能电池的电极和传输层