典型用户

三靶材磁控溅射系统

样品前处理工作站品牌：特莱思型号：PVD75

仪器名称：

三靶材磁控溅射系统

英文名称：

Threetargetsmagnetronsputteringsystem

所属分类：

分析仪器 > 样品前处理及制备仪器 > 旋转薄膜蒸发仪

学科领域：

物理学

主要技术指标：

1.镀膜工艺腔体：D型304不锈钢腔体；尺寸360mm宽x360mm深x610mm高；前开门设计；配有一个方形观察窗，观察窗配有放屏蔽板的插槽；配备用于安装真空泵、真空计以及其他仪器的接口，并配有空余的备用法兰口；配有气动充气阀，用于连接高纯氮气。2.真空泵系统：前级泵采用抽速不低于5.7cfm油封式机械泵（德国普发品牌）；主泵采用抽速≥260l/s的分子泵（德国普发品牌），有操作界面可调节分子泵转速；主泵和腔室之间带有三位门阀，具有全开、全闭和半开功能；系统的极限压强可达≤5x10-7Torr；自动抽气控制，带安全互锁功能；配有前级管路（螺纹管、前级阀）硬件。3.真空测量系统：主真空室配有KJLC品牌全量程真空计，测量范围为大气至10-10Torr；主真空室配有MKS电容式薄膜规，满量程为100Torr，精度为度数的+/-0.25%；主泵和前级泵之间配有KJLC品牌粗真空计；真空计读数可在控制面板显示。

主要功能：

薄膜制备

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河南大学拥有微机控制电液伺服压力试验机、气相色谱/质谱仪、稳定同位素质谱仪、叶绿素荧光仪、稳态瞬态-荧光光谱仪、128导事件相关电位仪、气相色谱质谱联用仪、双室蒸发镀膜系统、铁电测试仪、智能型超速离心机等科研仪器。

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