典型用户

等离子增强化学气相沉积系统

化学气相沉积（CVD）品牌：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司型号：PECVD-400a

仪器名称：

等离子增强化学气相沉积系统

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 电子产品通用工艺实验设备

学科领域：

物理学化学材料科学电子与通信技术

主要技术指标：

专门用于薄膜沉积

主要功能：

薄膜沉积

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