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原子力显微镜

扫描探针显微镜SPM(原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM) 品牌:布鲁克 型号:ICon

仪器名称:
原子力显微镜

英文名称:
Atomic Force Microscopy

所属分类:
分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 扫描探针显微镜

学科领域:
化学 生物学 材料科学 化学工程

主要技术指标:
X-Y方向扫描范围:90um *90um典型值,最小85um Z方向扫描范围:10um典型值,在成像及力曲线模式下;最小9.5um 垂直方向噪音基底:30pmRMS, 在合适的环境及典型的成像带宽(达到625Hz) X-Y定位噪音(闭环):≤0.15nm RMS,典型成像带宽(达到625Hz) X-Y定位噪音(闭环):≤0.10nm RMS,典型成像带宽(达到625Hz) Z传感器噪音水平(闭环):35pm RMS, 典型成像带宽(达到625Hz)整体线性误差(X-Y-Z):0.5% 典型值样品尺寸/夹具:210mm真空吸盘样品台,直径≤210mm, 厚度≤15mm 电动定位样品台(X-Y轴):180mm*180mm可视区域;单向2um重复性;双向3um重复性。显微镜光学系统:五百万像素数字照相机 180um至1465um可视范围数字缩放及自动对焦功能控制器:NanoScope V型控制器工作台:整合所有控制器、结合人体工学设计,提供直接的物理或可视借口震动隔绝:整体式气动减震台声音隔绝:可隔绝环境中85 dBC的持续噪音

主要功能:
表面观察、尺寸测定、表面粗糙测定、颗粒度解析、凸起与凹坑的统计处理、定向薄膜的摩擦处理过程的评价、缺陷分析等。

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