典型用户

多功能离子注入与离子束溅射系统

自动进样器（多功能）品牌：表面型号：IBAD-600 60KV

仪器名称：

多功能离子注入与离子束溅射系统

英文名称：

所属分类：

物理性能测试仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

物理学

主要技术指标：

清洗源灯丝电源0～20 V20A 引出电源0～1.5KV50mA，溅射源灯丝电源0～20 V20A 引出电源0～3KV100mA，气体源灯丝电源0～20 V20A 加速电源0～60KV30mA，金属源加速电源0～50KV30mA

主要功能：

设备主要功能：1.离子束清洗：对待处理工件或样品进行表面清洗。2.离子束溅射沉积：用低能溅射气体离子源实现溅射沉积薄膜。3.金属、气体离子注入，混合注入、单注入、反冲注入。4.离子束辅助/增强沉积：用中高能气体/金属离子束对溅射沉积薄膜实现离子束增强沉积。

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典型用户

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河北师范大学拥有铁电压电分析仪、双向电泳仪、DNA测序仪、激光扫描共聚焦显微镜、多通道电化学阻抗系统、正置荧光显微镜、超景深三维显微镜、力量训练系统、单辊旋淬电弧熔炼系统、物理性能测试系统等科研仪器。

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