典型用户

SiC高温激活退火炉

氧化扩散设备品牌：AMP 型号：Activator150-5

仪器名称：

SiC高温激活退火炉

英文名称：

Activator

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

其他

主要技术指标：

为了避免高温处理过程SiC材料的过度损伤，高温处理过程需要采用Ar或N2等惰性气体进行气体保护，更甚者可能需要采用SiH4等有毒气体进行保护

主要功能：

设备通过高温激活退火，使点缺陷原子复位，实现对离子注入造成损伤晶格的修复。

典型用户

新型功率半导体器件国家重点实验室

北京市科研单位

新型功率半导体器件国家重点实验室拥有IGBT集电极-发射极阻断断测试台、IGBT功率循环测试台、高温反偏阻断台3#、扫描电子显微镜、高温反偏阻断试验台、IGCT综合测试设备、Si 高温氧化炉、IGBT动态测试台、IGBT被动热循环测试台、电子直线加速器等科研仪器。

EMS

53台仪器 9家供应商

时代

28台仪器 4家供应商

Dynex

2台仪器 1家供应商

AMP

1台仪器 1家供应商

荷兰AC

0台仪器 1家供应商