FEI场发射扫描电子显微镜
扫描电镜（SEM）
品牌：FEI公司
型号：Nova NanoSEM 450
仪器名称：
FEI场发射扫描电子显微镜
英文名称：
所属分类：
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜
学科领域：
化学 基础医学 材料科学
主要技术指标：
Schottky肖特基场发射电子枪
高真空模式分辨率：1nm ( 15KV)，1.4 nm (1KV)
低真空模式分辨率：1.5nm（10kV)，1.8nm（3kV)
标样放大倍数：20倍～100万倍
加速电压：50V - 30kV，连续可调
电子束流范围： 0.6pA - 200nA, 连续可调
探测器：二次电子探测器（ETD、TLD）；背散射探测器（CBS）；低真空探测器（LVD）；IR-CCD相机；导航相机Nav-Cam
五轴马达驱动；
移动最大距离：X=Y=110mm,Z=25mm；
体旋转最大角度：T=90°；
平面旋转R=360°，重复精度<2μm>
主要功能：
该仪器可实现样品的微观形貌观察、微区能谱成分分析、线分布、面分布分析及晶体样品的晶粒取向和取向关系等分析；配备的背散射探头可获得样品的成分衬度图片；配备的低真空探头可对不导电样品进行形貌及成分分析，而不需要进行喷金处理。
