典型用户

扫描电子显微镜

扫描电镜(SEM) 品牌:日立 型号:S-4800

仪器名称:
扫描电子显微镜

英文名称:

所属分类:
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜

学科领域:
化学

主要技术指标:
二次电子分辨率:1.0nm(15kV),2.0nm(1kV);背散射电子分辨率:3.0nm(15kV);电子枪:冷场发射电子源;加速电压:0.5~30 kV(0.1 kV/步,可变);放大倍率:×30~×800000。X射线能谱仪的元素分析范围为Be4~U92。喷金喷碳装置可以通特定的气氛保护样品。

主要功能:
该电镜的电子发射源为冷场,物镜为半浸没式。在高加速电压(15kV)下,S-4800的二次电子图像分辨率为1nm,这是目前半浸没式冷场发射扫描电镜所能达到的最高水平。该电镜在低加速电压(1kV)下的二次电子图像分辨率为2nm,这有利于观察绝缘或导电性差的样品。S-4800的主要附件为X射线能谱仪。利用S-4800和X射线能谱仪可以在观察样品表面微观形貌的同时进行微区成分定性和定量以及元素分布分析。

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