典型用户

非平衡磁控溅射镀膜系统

镀膜机品牌：TE 型号：UDP850/4

仪器名称：

非平衡磁控溅射镀膜系统

英文名称：

Vacuum coating system

所属分类：

工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 其他

学科领域：

材料科学机械工程

主要技术指标：

该设备的新型闭合场非平衡磁控溅射系统的离子流是传统磁控溅射离子流的100倍，是该公司早期的非平衡磁控溅射离子流的2.5倍。可提供TiN、TiCN、TiAlN、CrN、AlCrN、CrTiAlN等硬质耐磨镀层；MoSTTM、 G-iCTM、D-iCTM等专利自润滑减摩镀层。

主要功能：

该系统易于优化镀膜条件，得到有良好结合力的致密膜层：可以工业规模生产先进的复合、纳米、多层及非晶镀层；并可实现低温沉积，在塑料等器件上镀膜。与阴极弧相比，所形成的镀层不存在金属液滴，表面粗糙度低。

典型用户

西安交通大学青岛研究院

山东省高校

西安交通大学青岛研究院拥有3D形貌显微镜、MTS高性能疲劳试验机（250kN）、电动振动试验系统ITS-5000、光固化激光快速成型机、激光熔覆系统、激光切割系统、MTS高性能疲劳试验机（1000kN）、MTS高性能疲劳试验机（100kN）、MTS高性能疲劳试验机（25kN）、机器人柔性连接系统等科研仪器。

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