典型用户

高温退火炉

氧化扩散设备品牌：ERM 型号：ACTIVATOR150-5

仪器名称：

高温退火炉

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

其他

主要技术指标：

1.本底真空：＜1mbar 2.升温速率：高于40℃/min 3.最高温度：1850℃

主要功能：

该设备主要用于SiC电力电子器件制程中的注入激活工艺，SiC器件由于晶体结构的原因碳化硅很难进行掺杂，因为杂质在碳化硅内的扩散系数很小，像硅那样进行扩散掺杂几乎不可能。碳化硅的掺杂必须要很高温度的激活退火，该设备可以达到1850度高温，满足至少1400度的SIC注入损伤修复温度

典型用户

宽禁带半导体电力电子器件国家重点实验室

北京市科研单位

宽禁带半导体电力电子器件国家重点实验室拥有专用清洗机、GaN外延层MOCVD、自动键合机、高温打胶机、SiC CVD系统、动态特性测试仪、快速退火炉、湿法刻蚀机、MOCVD、真空焊接炉等科研仪器。

ERM

0台仪器 6家供应商

2台仪器 3家供应商

泰思

7台仪器 2家供应商

瑞士铝业

0台仪器 2家供应商

11台仪器 1家供应商

1台仪器 1家供应商

ECO

1台仪器 1家供应商

0台仪器 1家供应商