典型用户

湿法刻蚀机

甲烷/非甲烷烃检测仪品牌：ECO 型号：Vecoo 3301

仪器名称：

湿法刻蚀机

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

其他

主要技术指标：

1.化学品输送温控：20～25±1℃ 2.手臂编程高度：3/4”,精度控制每步0.1 3.马达转速：5～3000 RPM 4.液体压力范围：5～60PSI 5.氮气干燥温度：50～250℃±2%

主要功能：

该设备主要用于电力电子器件制程中的TiAl金属PAD的反刻腐蚀工艺，通过手臂均匀扫描，同时喷洒腐蚀溶液，对TiAl金属PAD实现腐蚀功能，腐蚀一致性优于10%

典型用户

宽禁带半导体电力电子器件国家重点实验室

北京市科研单位

宽禁带半导体电力电子器件国家重点实验室拥有专用清洗机、GaN外延层MOCVD、自动键合机、高温打胶机、SiC CVD系统、动态特性测试仪、快速退火炉、湿法刻蚀机、MOCVD、真空焊接炉等科研仪器。

ERM

0台仪器 6家供应商

2台仪器 3家供应商

泰思

7台仪器 2家供应商

瑞士铝业

0台仪器 2家供应商

11台仪器 1家供应商

ECO

1台仪器 1家供应商

0台仪器 1家供应商