典型用户

高温打胶机

甲烷/非甲烷烃检测仪品牌：AL 型号：GASONICS AURA 3010

仪器名称：

高温打胶机

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

其他

主要技术指标：

1.温度范围：室温～500℃ 2.控温精度：1℃ 3.微波功率：0～1400W可控 4.去胶速率：＞30000 Å /min 5.均匀性:片内/片间/批间：＜±3% 6.腔体真空度：优于50mTorr；腔体漏率：优于30mTorr/min

主要功能：

该设备主要用于电力电子器件制程中的打胶工艺，通过在100-300度高温过程中通入氧气，并利用射频进行电离后产生氧等离子体，与光刻胶等含C有机成分进行反应，产生CO2，来实现去除有机残留或底膜的作用

典型用户

宽禁带半导体电力电子器件国家重点实验室

北京市科研单位

宽禁带半导体电力电子器件国家重点实验室拥有专用清洗机、GaN外延层MOCVD、自动键合机、高温打胶机、SiC CVD系统、动态特性测试仪、快速退火炉、湿法刻蚀机、MOCVD、真空焊接炉等科研仪器。

ERM

0台仪器 6家供应商

2台仪器 3家供应商

泰思

7台仪器 2家供应商

瑞士铝业

0台仪器 2家供应商

11台仪器 1家供应商

ECO

1台仪器 1家供应商

0台仪器 1家供应商