典型用户

专用清洗机

酸逆流清洗机品牌：中国电子科技集团公司第四十五研究所型号：SFQZ-41055ZY

仪器名称：

专用清洗机

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

其他

主要技术指标：

1.可清洗3"～6"圆片 2.清洗过程0.2um颗粒数量增加＜5个/片

主要功能：

该设备主要用于电力电子器件制程中的清洗工艺，通过设备配置RCA清洗溶液，对晶圆高温工艺前进行预处理，去除表面金属颗粒、有机颗粒，保障产品质量，降低对后续高温机台的沾污

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宽禁带半导体电力电子器件国家重点实验室拥有专用清洗机、GaN外延层MOCVD、自动键合机、高温打胶机、SiC CVD系统、动态特性测试仪、快速退火炉、湿法刻蚀机、MOCVD、真空焊接炉等科研仪器。

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