典型用户

快速退火炉

快速退火炉品牌：天长市亚天机械有限公司型号：RTP600S

仪器名称：

快速退火炉

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

其他

主要技术指标：

1.工作温度：室温～1000℃； 2.升温速率：10～80℃/分； 3.降温速率：5～80℃/分。

主要功能：

该设备主要用于电力电子器件制程中的金属-半接触退火工艺，通过快速升温，实现金属与半导体界面扩散，形成相应的欧姆接触或肖特基接触

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宽禁带半导体电力电子器件国家重点实验室拥有专用清洗机、GaN外延层MOCVD、自动键合机、高温打胶机、SiC CVD系统、动态特性测试仪、快速退火炉、湿法刻蚀机、MOCVD、真空焊接炉等科研仪器。

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