典型用户

自动键合机

甲烷/非甲烷烃检测仪品牌：SE 型号：BJ935

仪器名称：

自动键合机

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

其他

主要技术指标：

1.该系统可用于加工直径100~500um线材、最大尺寸为0.2mm*2mm的板材 2.软件支持编程、校准和制造，可自动或手动模式操作 3.工作架采用真空、压缩空气或机械装置固定1.电压50V~1800V 2.电流1A~300A 3.PW最大设定幅宽1ms 4.L负载可支持100uH、200uH、1mH

主要功能：

该设备主要用于电力电子器件正面金属Al层的键合工艺，用于验证芯片机械性能、电性能

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典型用户

宽禁带半导体电力电子器件国家重点实验室

北京市科研单位

宽禁带半导体电力电子器件国家重点实验室拥有专用清洗机、GaN外延层MOCVD、自动键合机、高温打胶机、SiC CVD系统、动态特性测试仪、快速退火炉、湿法刻蚀机、MOCVD、真空焊接炉等科研仪器。

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