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颗粒计数器在电子级硫酸中颗粒管控方案
为什么要对电子级硫酸进行颗粒管控:电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元的件成品率、电性能及可靠性有着重要 的影响。电子级硫酸是芯片制造工艺中用量最大的电子化学品,主要用于去除晶圆片上残留的金属和有机物杂质,质量要求高,产品中金属离子须达到 ppt 级目前,我国电子级硫酸产品完全依赖德国 BASF 等外企进口,严重制约我国芯片产业发展,是主要“卡脖子”产品之一。近两年,我国电子级硫酸制备技术取得突破,产品质量显著提高,电子级硫 酸产品中金属离子浓度均小于 10ppt,超越了国际 SEMI-C12(金属离子<100ppt) 级别,与国际电子化学品供应量最大、品质最好的巴斯夫电子级硫酸品质处同一级(金属离子
半导体
2024/04/18
如何在实验室用液体颗粒计数器检测分析电子级氨水粒径方案详细版
数据处理与分析 1. 数据收集:启动液体颗粒计数器,将稀释后的样品注入计数器,记录粒径分布数据。 2. 数据处理:使用专业软件对收集到的数据进行处理,计算粒径的平均值、中位数、众数等统计参数。
半导体
2024/04/12
液体颗粒计数器在光刻胶检测中的应用
检测仪器:电子级光刻胶的级别判定有线宽、金属杂质、颗粒数和大小,4个指标。其中颗粒检测用的是液体颗粒计数器。采用光散射法的原理来对光刻胶里的粒子大小和多少进行检测。通常会检测0.1um、0.2um、0.3um、0.5um这4个粒径值。 普洛帝测控PMT-2 光刻胶液体颗粒计数器,可以测高粘度和低粘度的光刻胶。在光刻胶行业里有一定的应用。
半导体
2024/04/08
液体颗粒计数器对清洗剂污染颗粒管控典型应用
清剂化学品杂质来源主要由以下几种方式引入:一是原料带入。即需要净化的原料本身的杂质;二是外界引入。由于高纯电子级酸多具;有强腐蚀性;,在实验和存贮过程中接触的器皿如不锈钢设备 、管道 、泵阀 、螺丝等,塑料设备和包装存贮材料;(往往含有增塑剂增强剂在长期使用过程中可能存在被腐蚀的问题,有如Ca、M g、Fe、Zn、C r、N i等微量离子溶出现象,因此要求必须采 用具备很强的抗腐蚀性和耐磨蚀性,杂质溶出率极低的设备材料。另外,净化过程中使用的各种 辅助试剂 、水、气体等也会引入微量杂质。( PVD F)、特富龙;( Teflon )、PFA等材料 。选用何种材质,须针对研发产品化学特性、工艺过程特点进行相应的耐腐蚀、耐磨蚀试验,才能最终选定设备与存贮材料,特别强调低溶出率指标。
半导体
2023/04/12
液体颗粒计数器在活性炭中颗粒管控应用方案
普洛帝PMT-2液体颗粒计数器是一种用于检测液体中颗粒数量的仪器,它采用光散射原理,能够精确测量液体中颗粒的大小和数量。在活性炭的制备过程中,通过使用液体颗粒计数器,可以实现对活性炭中颗粒的精确管控。
半导体
2023/10/25
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