电镜核心部件打破国际垄断|大束科技场发射电子源、液态镓离子源实现规模化量产

大束科技从2015年开始销售商品化的热场肖特基电子源，在不断研发、完善各种电镜核心部件以及提升生产能力下，目前位于北京生产基地的自动化生产线已经全部投入生产，该生产线完全由大束科技自主完成设计和组装调试。设备全年可以生产各种电子源、离子源产品5000套，并且规模还在扩大中。由于规模化量产采用了自动化生产设备，产品的一致性更加完美。

根据产品使用的场合不同，在生产上也会采用不同的工艺，目前大束科技的热场发射电子源已经在扫描电镜SEM、透射电镜TEM、电子束光刻EBL、半导体量检测的关键尺寸量测设备CD-SEM 、电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）、电子束缺陷检测EBI上安装使用。

 大束科技的场发射电子源、离子源规模化量产后，不仅满足了国内存量电镜的使用，也为国内整机厂家提供性价比更高的部件，对整个电镜产业链都是一个振奋人心的消息。同时这些产品已经销往海外，得到国外客户的认可。

 大束科技成立之初，定位只做电子显微镜的核心部件，不做整机。这也是创始人一直提倡并付诸实践的，以供应链思维推进中国电镜发展。

1. 做好发射源

从发射源产品热致发射的钨灯丝、六硼化镧灯丝到热场肖特基电子源、冷场电子源全系列电子源产品。FIB聚焦离子束的液态镓离子源的多种规格，可以完全兼容市场上的进口产品。随着规模化量产的实现，标志着我国在带电粒子发射源上实现了独立自主。

大束科技不仅提供电子源和离子源，也提供电子枪和离子枪。同时提供电子枪和离子枪的部件，比如物镜、透镜、偏转器等。

2. 做好更多核心部件

 大束科技从源起步，不断增加电镜部件，比如大束科技提供的：

(1) 各种光阑，有单孔、多孔、应用到电子束或离子束的不同材料的不同孔径的。

(2) 各种电镜使用的控制电源模块

(3) 探测器

3. 以电镜服务为中心开展产品研发

大束科技提供产品同时提供电镜技术服务，已经建立了覆盖全国的技术服务团队，为客户提供电镜维修及部件安装。提供电镜搬迁服务。其产品研发也围绕客户需求不断增加。比如大束科技的冷水机具有更好的性价比。

总的来说，大束科技的这一成就，不仅为国内电镜整机厂家提供了更多的部件选择，促进了电镜供应链的完善，也为全球电镜行业的发展贡献了中国力量。随着电镜核心部件的规模化量产，大束科技正引领中国电镜行业迈向更加广阔的舞台。