扫描电子显微镜的发展史
1926年汉斯·布什研制了第一个磁力电子透镜。
1931年厄恩斯特·卢斯卡和马克斯·克诺尔研制了第一台透视电子显微镜。显微镜使用的还不是透视的样本,而是一个金属格。
1986年卢斯卡为此获得诺贝尔物理奖。世界上第一台电子显微镜产生了。1934年提议加强图像的对比度。
1937年第一台扫描透射电子显微镜推出。电子显微镜目的是显示在光学显微镜中无法分辨的病原体等。
1938年他在西门子公司研制了第一台商业电子显微镜。
1949年可投射的金属薄片出现后材料学对电子显微镜的兴趣大增。
1960年投射电子显微镜的加速电压越来越高来透视越来越厚的物质。电子显微镜可以分辨原子的能力。
1980年人们能够使用扫描电子显微镜观察湿样品。
1990年电脑越来越多地用来分析电子显微镜的图像,同时也可以控制复杂的透镜系统,电子显微镜的操作越来越简单化。
扫描电子显微镜的分辨率
分辨能力是电子显微镜的重要指标,它的分辨能力以分辨的两点最小间距来表示,即最高点分辨率。显然分辨率越高数愈小,则仪器所能分清被观察的细节。
电子显微镜观察微生物影像丰富,也就是说这台仪器的分辨能力或分辨本领越强。分辨率与样品的电子束入射锥角和波长有关。而电子束的波长与电压有关。
根据二象性原理,高速的电子的波长比可见光的波长短,而显微镜的分辨率受波长的限制,因此电子显微镜的分辨率远高于光学显微镜的分辨率。
当加速电压的电子束波长,由于电子束的波长远远小于可见光的波长,所以电子束的角为光学显微镜的光,电子显微镜的分辨优于光学显微镜。
光学显微镜的最大放大倍率高,而电子显微镜最大放大倍率超过光学,所以通过电子显微镜就能直接观察到原子和晶体中排列整齐的原子点阵。
放大率是指被观察物体经电子显微镜放大后,在同一方向上的长度与实际长度的比值。直线的比值将放大率为像与物的面积比这是错误的,会引起计算方法与结果的混乱。
大束科技(北京)有限责任公司自主研发了电镜零部件,尤其是消耗型的部件都做到了国产化,例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等,可以完全替代进口产品。大束科技(北京)有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用,实现量产以后,在最极端的情况下,如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件,大束科技(北京)有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。此外,还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务,以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源(电子显微镜灯丝)、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。大束科技的技术服务团队也在不断地壮大,我们的工程师可以独立维修大部分型号的电子显微镜,同时也可以对大部分型号机器独立更换灯丝和离子源。
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