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产品特点
采用数字微镜 (DMD) 的无掩模扫描式光刻机，365nm波长
直接从数字图形生成光刻图案，免去制作掩模板的中间过程，支持直接读取GDSII和BMP文件
全自动化的对焦和套刻，易于使用
晶圆连续运动配合DMD动态曝光，无拼接问题。全幅面绝对定位精度0.1um
套刻精度： 0.2um
500 nm / 1 um分辨率，100mm x 100mm最大幅面（4~6寸晶圆），满幅面曝光时间5~30分钟
500um最小线宽
可灰度曝光（128阶）
尺寸小巧，可配合专用循环装置产生内部洁净空间
企业名称
筱晓（上海）光子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
913101163987029680
成立日期
2014-06-26
注册资本
人民币1000.0000万元整
经营范围
从事“光电、通信、机械设备、电子、计算机、计算机网络”科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务,机电设备及配件,光电设备及配件,通信设备及相关产品,仪器仪表,电子元器件,计算机、软件及辅助设备,电线电缆,五金交电,建筑材料,日用百货销售,从事货物进出口及技术进出口业务,机电设备安装、维修,计算机软件开发。[依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动]
筱晓（上海）光子技术有限公司
公司地址
上海市青浦区佳杰路99号长三角漕河泾绿洲智谷A5栋三楼
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