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核心参数
规格: 极紫外平面反射镜
货号: 38-759
极紫外平面反射镜
1.zui大可实现 13.5nm 反射
2.专为极紫外线光束转向和谐波分离而设计
5°和45°自动光学检验的可用版本
极紫外平面反射镜是多层反射镜,在其设计波长和入射角下实现zui大反射率。这些反射镜的特点是反射涂层沉积在一个超抛光的单晶硅基板上,表面粗糙度小于3? RMS. 45°自动光学检验反射镜可用于转向s偏振光束,而 5° 自动光学检验反射镜可用于非偏振光束. 极紫外线反射镜的应用包括相干衍射成像 (CDI) 和材料科学研究。极紫外平面反射镜也可用作高次谐波 (HHG) 光束的谐波选择器.
注意:附带每个反射镜运行样本的测试数据.
通用规格
基底:
Single Crystal Silicon
涂层:
Mo/Si Multilayer
Top Layer: Silicon
表面粗糙度(埃):
<3 RMS
厚度容差 (mm):
0.508
直径 (mm):
25.40 ±0.25
镀膜类型:
Metal/Semiconductor
厚度 (mm):
6.35
表面平整度 (P-V):
λ/10 @ 632.8nm
订购信息:
涂层规格
AOI (°)
产品号
R >60% @ 13.5nm
5
#38-759
R >65% @ 13.5nm
45
#38-760
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极紫外光学
极紫外线 (EUV) 辐射包括在 X 射线和深紫外线 (DUV) 光谱区域之间约 10nm 至 100nm 的波长带。随着极紫外线领域(包括光刻技术、纳米级成像和光谱学等)中对于许多应用的需求日趋紧迫,最近均已着手开发紧凑型极紫外线光源。这一努力为几种极紫外线光源带来了商业可用性.
153KB
2022/09/21
企业名称
江阴韵翔光电技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
913202813020584865
成立日期
2014-06-11
注册资本
500万
经营范围
光电子器件销售,电子元器件销售,光学仪器销售,仪器仪表销售,技术服务,技术咨询
公司地址
江阴市人民东路1091号1017室
客服电话
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公司名称: 江阴韵翔光电技术有限公司
公司地址: 江阴市人民东路1091号1017室 联系人: 吴先生 邮编: 214400 联系电话: 400-860-5168转3408
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