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紫外曝光机配件非常适合对紫外光敏感层的处理,是理想的紫外掩曝光机系统和掩模准直机,适合光学,生物,微纳科技,光刻等领域需要1-2掩膜的应用。
紫外曝光机配件特点
1)完美的单色曝光,曝光带宽小于10nm;
2)冷紫外曝光,衬底环境温度实时控制,从而实现均匀曝光,消除热效应;
3)超强的功率密度
4) 紫外LED寿命更长,高达10000小时;
5)方便用户使用的触摸屏配置;
6) 不需要预热;
7)计算机控制紫外光源强度调节;
8)自动晶圆装载和卸载功能;
9)超低能耗;
紫外曝光机配件参数
分辨率:2微米
发射光谱:365+/-5nm, 385+/-5nm 4英寸晶圆照明: 25mW/cm^2 +/-10%
暴晒时晶圆温度加热:<1摄氏度 暴晒循环:1秒~18小时 记忆的曝光循环数: 10个
功率:180W
重量:8.2kg
尺寸: 260x260x260mm^2电源: 110V/230v50Hz
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企业名称
孚光精仪(香港)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
成立日期
2008-09-30
注册资本
100
经营范围
孚光精仪(中国)有限公司
公司地址
上海黄浦区
客服电话
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公司名称: 孚光精仪(中国)有限公司
公司地址: 上海黄浦区 联系人: 刘小姐 邮编: 200021
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