科研级大型手动探针台

科研级大型手动探针台是一款专为半导体领域设计的大型晶圆探针台，它可用于高达14半导体晶圆的测量，并在全球范围内首次实现XYZ，theta多维控制。

大型手动探针台提供一种连续使用的工具，它可以提供XYZ,Theta的控制，并采用Z轴反向驱动技术控制Z轴运动。它的多功能性，极高的性价比和简化操作的设计是得它成为最受欢迎的手动探大型手动探针台针台。

最近的若干年中，一些价格适中，操作方便的探针台从笨重而昂贵的探针台系列中脱颖而出，成为探针台发展的主流方向。这些新型探针台非常方便用户的使用，极大提高了用户效能和测量速度，同时也为研发工程师提供了多功能方案。 我们设计的这款探针台的价格仅为传统探针价格的2/3, 为客户提供了操作简单的手动探针台方案。

大型手动探针台采用直线向前运动设计，操作非常简单容易，更加方便晶圆装卸，真空样品台控制，样品旋转，捆绑探针用于可重复的图案化。用户不需要学习软件，因为它采用了常见的显微镜取代视频相机，用户直接在视场找到探针就可测量。

大型手动探针台的样品台吸盘可旋转380度而没有反冲问题，因此样品台真空吸盘可以反过来使用也不需要调整真空。这个14英寸的样品真空吸盘可一次性同时安装4个6英寸的晶圆，非常方便各个晶圆的比较测量。所有的探针都可定位到14英寸真空吸盘表面的任何位置，这就不需要用户因为探针位不足导致的探针样品再定位问题发生。所有的同心环真空都是彼此独立，这样就实现了所有17个对角真空控制多个装置同时测量。
大型手动探针台的定位器特别设计，压力不会突发性地压着探针冲向样品。手动探针台采用了龙门式设计结构，可以负载重量更大的样品。