AFM原子力显微镜计量校准片

问题：当原子力显微镜做样品成像时，很难知道表面是否准确的表征？也许会受针尖的顶端破碎或钝影响。

破损或钝的探针针尖会使测量结果有显著差异，如粗糙度或表面结构等等。

要确保用户在使用探针时要有适当的提示，必须直接扔掉旧探针或定期使用SEM电镜检测，这两种方法都非常的浪费探针或耗时。

解决方案：

BudgetSensors Tipcheck介绍-一个SPM样品可以在原子力显微镜的针尖条件下快速、简便的测定。即使在一个单一的扫描线上，也使之间的差异变得明显。因此，tipcheck提供了一个快速简便的方法来比较和分类原子力显微镜探针不同的针尖、形状和清晰度。

您可以很容易的检查您的AFM探针是否完好，是否已经磨损或破损，从而不需要扫描使用该探针扫描整个样品图像或做SEM电镜扫描检测。此外，该样品的完美自动提示和针尖表征软件在市场上可用。

BudgetSensors Tipcheck样品是一种非常耐磨的薄膜涂层，沉积在硅芯片上。这层薄膜涂层呈颗粒状，尖锐的纳米机构使得它能在AFM探针针尖反向成像。该Tipcheck模具的尺寸为5*5mm。

下面的图片显示了使用不同探针测试tipcheck样本之间的比较，扫描尺寸为1*1um，高度为100nm。根据下面的形貌图你可以找到一个具有代表性的断面图像。

为什么我们需要高度校准块？

原子力显微镜已经成为一个有价值的工具，不仅用于可视化，而且也可以用于进行精确的纳米和微米尺度测量。为了能使原子力显微镜最精确的测量，原子力显微镜需要正确的校准。

HS-20MG / HS-100MG / HS-500MG作为budgetsensors 高度标准介绍作为增加相应，能负担原子力显微镜的高品质校准标准需求。

HS-20MG / HS-100MG / HS-500MG是一个尺寸为5*5mm且阵列在硅基底上的二氧化硅结构。芯片结构的制造工艺保证了良好的均匀性。这将确保你的AFM系统Z轴方向校准方便可靠。

校准区域位于芯片的中心，使用原子力显微镜的光学系统很容易找到。校准结构的台阶高度为20nm（HS-20MG）100nm（HS-100MG）和500nm（HS-500MG）每一个芯片的精确值都标识在盒子标签上。芯片上集成了不同形状和间距的结构阵列。在1*1mm的大区域内包含了间距为10um的方柱孔。

在500*500um的小区域内包含了XY方向间距为5um的圆柱形孔。

除了Z轴校准，这样的设计也让XY方向有了更大的校准范围（40~100um以内），而且，校准片的结构对称性使得校准原子力显微镜时不需要旋转和调整校准片XY刻度的方向。

HS-20MG / HS-100MG / HS-500MG用优质导电环氧树脂粘在一个12毫米金属圆盘上，并将其用作装运的材料。

横向尺寸：5*5mm

几何结构：

在1*1mm平方内排列间距为10um的方形孔柱

在500*500um平方内XY方向排列间距为5um的圆形孔柱

台阶高度

HS-20MG：~20nm

HS-100MG：~100nm

HS-500MG：~500nm

注：每个校准片盒子标签上都标有明确数值

为什么需要XYZ标定校准？

为了使原子力显微镜更精准的测量，必须进行正确校准。因此，更精确的校准标准才能实现原子力显微镜更好的测量结果。在这方面，校准的标定标准允许原子力显微镜系统的最精确校准。

我们的解决方案：

CS-20NG是一种先进的XYZ标定校准，使校准精度降低到纳米级。它的特点是在一个5*5mm的硅芯片上阵列二氧化硅结构。确保整个芯片结构有良好的均匀性。反之，又确保了方便可靠的校准原子力显微镜的XYZ三方向的精度。

校准区域位于芯片的中心，使用原子力显微镜的光学系统很容易找到。

台阶高度在20nm范围内，每一个芯片的精确值都标识在盒子标签上。

芯片上集成了不同形状和间距的结构阵列。在1*1mm的大区域内包含了间距为10um的方柱孔。在中区域内包含了XY方向间距为5um的圆柱形孔。在小区域内500nm间距的圆形孔。

CS-20NG适用于横向和纵向的AFM扫描校准。校准片的结构对称性使得校准原子力显微镜时不需要旋转和调整校准片XY刻度的方向。CS-20NG用优质导电环氧树脂粘在一个12毫米金属圆盘上，并将其用作装运的材料。

横向尺寸：5*5mm

几何机构：

在1*1mm平方内排列间距为10um的方形孔柱

在500*500um平方内XY方向排列间距为5um的圆形孔柱

在100*100um平方内分布着间距为500nm的圆形孔

台阶高度：20nm

每个校准片盒子标签上都标有明确数值